English
  • 中文

请填写信息并提交

  • Product

    select

    • Si Epitaxy Product
    • GaN/Si Epitaxy Product
    • SiC/SiC Epitaxy Product

    Product

  • finish size

    select

    • 4 inches
    • 5 inches
    • 6 inches
    • 8 inches

    finish size

  • Epitaxial film thickness (0.5 ~ 150um)

  • Other requirements / or application scope

  • Name *

  • Call *

  • E-mail

  • Inquiry sheet

TECHNOLOG AND SERVICE

Technical Specifications


 

Technology and Service


 

 

S/N features parameter test method
1 外延层掺杂剂 Boron,Phophorus  
2 外延层晶向 <100>,<111>  
3 外延片尺寸 4″,5″,6″,8″  
4 外延层电阻率 0.01~200 ohm-cm ASTM    F723    F1392
5 外延层厚度 0.5~150μm ASTM   F95
6 堆垛层错密度性 ≤10/cm² ASTM    F1810
7 滑移线 ≤5条,总长度<1/2圆片直径 ASTM    F1725    F1726
8 雾、划伤、凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪、崩边、异物、背面沾染

 

 

ASTM    F523

9 冠状边缘 表面上凸起物高度不超过1/5外延层厚度  
10 点缺陷 SEMI标准 ASTM F523

 

 

 

 

 

S/Nfeaturesparametertest method
1外延层掺杂剂Boron,Phophorus
2外延层晶向<100>,<111>
3外延片尺寸4″,5″,6″,8″
4外延层电阻率0.01~200 ohm-cmASTM    F723    F1392
5外延层厚度0.5~150μmASTM   F95
6堆垛层错密度性≤10/cm²ASTM    F1810
7滑移线≤5条,总长度<1/2圆片直径ASTM    F1725    F1726
8雾、划伤、凹坑、桔皮、裂纹、鸦爪、崩边、异物、背面沾染

 

 

ASTM    F523

9冠状边缘表面上凸起物高度不超过1/5外延层厚度
10点缺陷SEMI标准ASTM F523

 


 

 

    ✔  外延片厚度2~6um ,不均匀性<±3%;

    ✔  外延片翘曲<30um;

    ✔  外延片2DEG电子浓度>8E12cm-²;

    ✔  外延片电子迁移率>1800 cm²/V.s;

    ✔  外延片方块电阻<350ohm/sq,不均匀性<±3%

 


     ✔  外延掺杂剂:N型和P型;

     ✔  外延片尺寸:4 inch 、6 inch;

     ✔  外 延 膜 厚:0.5~50um;

     ✔  外 延 浓 度:1E14-1E19/cm3


Copyright © 2021   Zhejiang JINRAY Electronic Technology Co., Ltd   All Rights Reserved.

添加微信好友,详细了解产品
使用企业微信
“扫一扫”加入群聊
复制成功
添加微信好友,详细了解产品
我知道了