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技术与服务

制备能力与技术优势

 

公司集聚了以来自中科院上海冶金所的优秀博士张峰为主导的20年以上专业产、研、管理团队,严格的品质管理体系,为制备高质量产品提供保证。并与大学建立产/学/研合作,建立了完善的技术研发,生产经营和质量管理体系,为生产高端电子级半导体材料提供了技术支持。

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外延产品技术规范

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外延产品制程能力

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外延设备

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测试设备

我们以成为客户的策略伙伴为目标,针对全球客户提供质量完善的服务:

/ 外延产品

      ● 硅外延产品

      ● 硅基GaN产品

      ● SIC产品


/ 埋层外延服务


/ 我们的产品广泛应用于

      ● 功率离散肖特基二极管

      ● 快速恢复外延二极管(弗雷德)

      ● 双极晶体管

      ● 功率MOSFET

      ● IGBT


/ 功率集成电路

/ 图像传感器

/ 分级EPI

/ 埋层

/ 多层EPI



晶睿为客户提供高质量外延服务: 


● CMOS、分立器件、功率器件、IGBT双层外延、SOI和埋层外延 

● 圆片直径:100,125,150 & 200 mm 

● 月生产能力40万片以上(4英寸外延片) 

● 10级洁净厂房 

● 外延炉:

       MT7700K 筒式红外加热外延炉

       MT7811K 筒式红外加热外延炉

       RF平板式外延炉

       LPE2061&3061系列机台

       单片外延炉 

● 客户特定参数 

● 加工前后高纯水清洗服务 



高质量的,专业水平的加工服务


晶睿凭借一流的工艺设备和技艺精湛的员工队伍,再加上一支以张峰博士为主的具有深厚专业知识和丰富经验的管理团队,我们将向您提供有保障的、专业的硅外延加工服务。同时,我们严格执行ISO-9001:2000 国际标准,实行统计过程控制(SPC)系统,以确保每一片外延片的高质量。 



稳定而又灵活的加工能力


晶睿项目中投资额55亿元,为未来的进一步发展预留了充足的空间。我们仔细响应您的每一个需求,并与您紧密沟通,以确保稳定而又灵活的加工能力为您提供服务。 



无微不至的客户服务


晶睿不仅仅保证于准时的交货和高质量的产品,更重要的是,我们向您提供完善的技术支持和服务,与您协同合作,共同研发新技术。 


工艺介绍 

——

晶睿产品具有卓越的竞争力,从晶体成长、硅片成型到外延生长等全流程生产能力的半导体硅外延片制造商。凭借在各个制程环节的丰富生产经验,以及在生产流程的精细化质量控制能力,晶睿为客戶量身订制出一体化的客制硅外延片,实现外延层和衬底几何形貌的有效匹配,达到不同规格产品需求的一体化硅外延片。


制程工序包含外延生长、外延片清洗、外延片检测及包装等。


外延生长

利用化学气相沉积的方式在抛光片上生长一层或多层指定厚度的单晶层,透过掺入P型硼或N型磷的气体来控制电阻率,并利用反应温度、外延气体流速、中心及边缘的温度梯度的工艺调整,来调节电阻率、厚度均勻度、过渡区宽度、颗粒、缺陷(层错、滑移线、雾等)等关键参数的有效控制,保障了外延层质量,满足客户制造工艺的要求。

外延片清洗

去除硅片表面的各种污染物,例如:表面微尘颗粒、有机物、金属等各种可能的污

外延片检测

外延片以设备量测其电阻率、厚度、平坦度、翘曲度等物理特性值后进行最终清洗,再以高精密度的设备检测其表面微尘颗粒、有机物、金属等缺陷项目,确保外延层质量符合客户需求。




包装

以硅片盒盛装硅片后,经由包装制程于硅片盒外包覆PE袋及铝箔袋,使其在保存及运送途中,不会被环境、外力等因素破坏质量。





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高端电子级半导体材料(8-12英寸晶圆片)切磨、抛光、外延等材料的研发、制造


硅外延片是在高温下通过气相化学反应,在抛光的硅单晶片上生长一层或多层硅单晶薄膜,通过控制生长条件,可以获得不同电阻率,不同厚度及不同型号的外延层,是用于制造各种硅集成电路和分立器件重要基础材料。

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可靠的产品交期

 

 

高度自动化的生产设备,确保了生产时间的可计算性,从而使产品能按时交货。

 

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弹性的生产管理安排

 

不断优化生产管理体系,弹性调节产线,以期用高效的方式为客户提供及时的服务。

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提升良率

 

我们拥有一流的自动化系統, 提高生产效率的同时,减少人为不良。


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标准化现场管理

 

严格规范的实施制造车间现场6S管理,减少车间人、物料、机器等时间与空间浪费。

联系电话:13861729969 陈晶

联系邮箱:sales@jinray.com

        编:323000

        址:浙江省丽水市莲都区南

                 明山街道南明路771号

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